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사업화유망기술

사업화유망기술

세정용액을 사용하여 EUV 리소그래피 공정에 사용되는 EUV마스크 상에 형성된 요염물 제거 및 손상 최소화

보유기관	한양대학교 산학협력단
기술완성도	TRL 4
거래조건	양도/실시권/산학협력
요약	염기성 용액과 유기 용매를 포함하는 EUV 마스크 세정용액 및 세정방법

제품 상세정보

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